Blog

LỜI MỞ ĐẦU

Trong những năm gần đây, với sự phát triển của công nghệ bán dẫn trong việc tạo ra những bộ vi xử lí và vi điều khiển, các hệ thống đo lường và điều khiển ngày càng thông minh hơn, giải quyết nhiều bài toán phức tạp hơn.

Bên cạnh đó sự phát triển trong công nghệ chế tạo IC bán dẫn cũng được ứng dụng và cải tiến để có thể tích hợp nhiều hơn các tính năng của một hệ thống cơ-điện lên một đế bán dẫn để tạo ra các hệ thống vi cơ điện tử on-chip. Các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) là một công nghệ mới có những bước phát triển rất nhanh gần đây. MEMS là sự kết hợp của các linh kiện cơ, cảm biến, các bộ truyền động và các linh kiện điện tử trên cùng một đế bán dẫn Silic thông qua sử dụng công nghệ vi chế tạo. Công nghệ này đã mở rộng các thiết kế hai chiều truyền thống của các chip điện tử; nó có thể tạo ra các cấu trúc ba chiều trong một lát mỏng (wafer) silic. Mục đích của tất cả các giải pháp đó là tạo ra khả năng đặt toàn bộ hệ thống lên một chip. Có thể nói các ứng dụng của MEMS là rất lớn và các MEMS đang ngày càng thâm nhập sâu vào tất cả các sản phẩm, từ các sản phẩm dân dụng đến các thiết bị điều khiển trong công nghiệp, tự động hoá, y tế, quân sự, …

Sự kết hợp giữa một cảm biến áp suất công nghệ MEMS và một vi điều khiển cho ta một thiết kế hệ thống hoàn chỉnh ứng dụng trong đo lường và điều khiển với giá thành thấp. Nhiều ứng dụng trước đây hầu như không thể thực hiện được vì những khó khăn đến từ phía các
cảm biến áp suất thì nay có thể dễ dàng thực hiện với các cảm biến áp suất công nghệ MEMS. Để minh chứng khả năng ứng dụng của MEMS trong các thiết bị đo lường và điều khiển, trong luận văn này tác giả đã đưa ra và thực hiện 3 thiết kế ứng dụng cụ thể trên cơ sở các cảm biến áp suất MEMS.

Nội dung của ebook này được trình bày thành 3 chương:

 Chương 1: Áp suất và việc đo áp suất trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất.

Chương 2: Cảm biến áp suất MEMS. Các khái niệm liên quan đến MEMS, các quy trình sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS được giới thiệu trong phần này.

 Chương 3: Một số ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS trình bày 3 ứng dụng của cảm biến áp suất công nghệ MEMS trong đo lường và điều khiển. Trong phần này nhằm phục vụ cho việc thiết kế các hệ đo, các kiến thức về phần cứng và lập trình cho vi điều khiển AVR cũng được đề cập.

Hy vọng ebook này đã giới thiệu được những hiểu biết cơ bản về công nghệ cảm biến áp suất MEMS cũng như một số kết quả ứng dụng của cảm biến này trong các lĩnh vực của cuộc sống hàng ngày.